薄膜形成用液体组合物，准备如下组合物。作为La原料，准备乙酸镧、硝酸镧、氯化镧、乙酰丙酮镧及三异丙醇镧，作为Ni原料，准备乙酸镍、氯化镍及乙酰丙酮镍，作为有机溶剂，准备乙酸、2-乙基己酸、3-甲氧基-1-丁醇、乙醇、乙二醇单丙基醚及乙二醇单异丙基醚。在下表1所示的组合中，混合La原料、Ni原料及有机溶剂，通过蒸馏进行脱水之后，作为稳定剂，混合La与Ni的总计摩尔数的5倍量的N-甲基甲酰胺，以与所述有机溶剂相同的有机溶剂进行质量调整，制备6种LaNiO 3薄膜形成用液体组合物。该液体 组合物以金属比为La = Ni = I:1的氧化物换算含有4质量％的各金属氧化物的方式，混合La 原料与Ni原料而制得。
成是用于以结晶化温度以上的温度对临时烧结后的涂膜进行烧成并使其结晶化的工序，由此可以获得LaNiO3薄膜。该结晶化工序的烧成气氛优选为02、他^^犯0或出等 或者这些混合气体等。优选在450~900°C下保持1~60分钟来进行烧成。也可以通过快速热 处理(RTA，Rapid ThermalAnnealing)法进行烧成。室温至上述烧成温度的升温速度优选 设为10~l〇〇°C/秒。
可以获得LaNiO3薄膜。由于如此形成的LaNiO3薄膜的表面电阻率低且导电性等优异，并且具有透光性，能够用于铁电存储器用电容器的电极膜或压电元件等的电极膜以及热释电型红外线检测元件的电极膜等。由于LaNiO 3薄膜在（100)面具有自取向性，在薄膜电容器等中能够适合用作用于使介质层的结晶取向性在（100)面优先取向的结晶取向性控制层。尤其为压电元件时，能够提高压电特性。
