以成为上述粒子个数的方式对制备后的组合物进行处理的方法没有特别限定，但例如可以举出如下方法。第1方法为使用市售的〇.2μπι孔径的薄膜过滤器并用注射器挤压的过滤法。第2方法为组合市售的0.05μπι孔径的薄膜过滤器和加压罐的加压过滤法。第3方法为组合在上述第2方法中使用的过滤器和溶液循环槽的循环过滤法。对本发明的LaNi〇3薄膜的形成方法进行说明。上述被Pt电极包覆的基板在上述预定条件下进行预先烘干。将上述LaNiO3薄膜形成用液体组合物涂布于已进行预先烘干的被Pt电极包覆的基板表面上并进行干燥，形成具有规定厚度的涂膜。优选预先烘干后， 在60分钟以内涂布LaNiO3薄膜形成用液体组合物。关于涂布法没有特别限定，但可以举出 旋转涂布法、浸涂法、LSMCD(Liquid Source MistedChemical Deposition)法或静电喷涂法等。形成LaNiO3薄膜的基板也根据其用途等而不同，但例如在被用作薄膜电容器等的结晶取向性控制层时，可以采用形成有下部电极的硅基板或蓝宝石基板等耐热性基板。作为形成在基板上的下部电极，可以采用Pt或Ir、Ru等具有导电性且与LaNiO 3薄膜不反应的材料。并且，能够使用在基板上经由粘附层或绝缘体膜等形成下部电极的基板等。临时烧结该涂膜，再烧成而使其结晶化。利用加热板或快速热处理(RTA，Rapid Thermal Annealing)装置等在预定的条件下进行临时烧结。临时烧结是为了去除溶剂且对金属化合物进行热分解或水解并使其转化为复合氧化物而进行的，优选在大气气氛下、氧化气氛中或含水蒸气气氛中进行。在大气气氛下进行加热，也可以通过大气气氛下的湿气充分确保水解所需的水分。在临时烧结之前，尤其为了去除低沸点成分或所吸附的水分子，也可以利用加热板等在60~120°C温度下进行1~5分 钟的低温加热。优选在150~550°C温度下临时烧结1~10分钟。关于从组合物的涂布至临时烧结为止的工序，在通过涂布一次来获得所期望的膜厚时，进行一次涂布至临时烧结为止的工序之后，进行烧成。或者，还能够反复进行多次从涂布至临时烧结为止的工序，后统 一进行烧成，从而成为所期望的膜厚。
