半导体环境检测机构，半导体环境检测中心

半导体环境检测是对半导体生产、研发及存储环境的洁净度、温湿度、污染物控制等开展的专业验证工作，通过精准检测手段评估微粒浓度、有害气体含量、静电防护等关键维度，保障半导体器件生产质量稳定、性能可靠，是半导体行业质量管控、工艺适配的重要举措。

检测范围

半导体晶圆制造车间、芯片封装测试车间、半导体研发实验室、光刻工艺洁净区、蚀刻工艺环境、薄膜沉积车间、离子注入车间、半导体材料存储仓库、半导体设备机房、高纯气体输送管道环境、超纯水制备车间、半导体光刻胶存储环境、半导体清洗车间、半导体封装材料存放区、半导体检测实验室

检测项目

微粒浓度检测、悬浮粒子计数、温湿度检测、压差检测、静电电位测定、有害气体含量检测、挥发性有机物检测、分子污染物检测、氮气纯度检测、氧气含量测定、露点检测、振动检测、噪声检测、照度检测、表面洁净度检测、微生物限度检查、静电消散性能测试、气体杂质含量分析、超纯水水质检测、化学污染物残留检测

检测标准

1、GB/T 25915.1-2010《洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》

2、SJ/T 10694-2021《电子工业洁净室（区）技术规范》

3、ISO 14644-1-2015《洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》

4、SEMI F21-0706《半导体制造环境中分子污染物分类》

5、GB/T 14294-2021《洁净室施工及验收标准》

什么是第三方检测报告？

第三方检测报告是由独立的第三方检测机构或实验室基于特定的标准、规范或要求进行测试和评估，所提供的有关评估和测试结果的正式文件。

这些机构与被测试实体（如生产商、供应商或组织等）没有利益关系，有相对的独立性和公正性，有资格向社会出公正数据(检验报告)，可以提供客观、公正的评估。旨在确保产品、材料或系统的质量、安全性、合规性等方面的要求得到满足。