半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,其导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内。
半导体材料的基本结构是由原子组成的晶体结构,每个原子都有四个价电子,这些价电子会形成共价键,使得晶体具备特定的导电性能。通过控制掺杂浓度,可以改变半导体材料的导电性质。掺杂是指将少量的杂质原子掺入半导体材料中,从而改变其电学性质。常见的半导体器件是二极管和晶体管,半导体材料也被广泛应用于光电器件、太阳能电池等领域。
半导体材料种类繁多,高温半导体、磁性半导体、金刚石型半导体等均为其分类方式。其中,硅是主要的半导体材料之一,具备优良的半导体性质,广泛应用于现代电子技术中。还有化合物半导体,如砷化镓等也具备重要的应用价值。
关于半导体材料,北京清析技术研究院可提供杂质含量、电阻率、能带结构、载流子浓度、沟道电迁移率、晶体结构分析、禁带宽度、表面质量、厚度均匀性、电子迁移率、热导率、耐热性、硬度、光学透过率、电磁性能、生物相容性、腐蚀性、机械强度、电压应力、介电常数等检测项目。北京清析技术研究院可对有机半导体材料、无机半导体材料、多晶硅、薄膜材料、光电材料、化合物半导体、晶体材料、纳米材料、半导体陶瓷材料、半导体光纤材料、有机无机复合材料、氮化物半导体材料、磷化物半导体材料、碲化物半导体材料、铜铟镓硒薄膜材料、锗基半导体材料、氧化物半导体材料、石墨烯材料、钙钛矿材料等半导体材料进行检测。
检测方法
(1)电性测试
电性测试是半导体材料检测中常用的方法之一。它可以测量半导体材料的电导率、电阻率、电子浓度、载流子迁移率等电学性质。电性测试所采用的仪器和技术包括四探针测量、霍尔效应测量、电子能谱分析等。
1、四探针测量
四探针测量是用于测量材料电阻率的一种常用方法。它利用四个探针接触到样品表面,通过测量两个探针之间的电压和电流计算出材料的电阻率。
2、霍尔效应测量
霍尔效应测量可以用于测量半导体材料的导电性、载流子浓度等物理量。它通过施加磁场,测量样品横向电流和磁场之间的关系,计算出霍尔系数和电子迁移率等参数。
3、电子能谱分析
电子能谱分析是一种用于测量半导体材料表面能带结构的方法。它利用电子束轰击样品表面,测量出从样品表面反弹回来的电子能谱,从而获取样品的能带结构和电子密度分布等信息。
(2)化学测试
化学测试可以用于分析材料的组成和结构。它包括X射线荧光光谱分析、电子显微镜分析、拉曼光谱分析等方法。
1、X射线荧光光谱分析
X射线荧光光谱分析是一种用于检测材料成分的方法。它可以测量材料的元素含量和组成,从而评估样品的质量和结构。
2、电子显微镜分析
电子显微镜分析可以用于测量材料的微观结构和形貌。它包括扫描电子显微镜和透射电子显微镜等多种方法。
3、拉曼光谱分析
拉曼光谱分析可以用于测量材料的分子结构和键长。它利用激光激发样品,测量样品的散射光谱,从而分析材料的分子结构和振动状态等参数。
检测标准
1、GB/T 31469-2015 半导体材料切削液
2、GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法
3、T/CASME 798-2023 半导体材料专用加工刀具
4、T/CNIA 0143-2022半导体材料痕量杂质分析用超纯树脂器皿
5、T/ZJATA 0017-2023制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备
6、GB/T 36646-2018制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
7、T/ICMTIA CM0035-2023半导体硅材料制程装置用密封垫片