砷化镓(GalliumArsenide),简称GaAs,是一种重要的半导体材料,属于III-V族化合物半导体材料。以下是关于砷化镓的详细介绍:
物理性质。砷化镓的晶格结构为闪锌矿型,晶格常数为5.6510^-10米,熔点为1237摄氏度,具有亮灰色外观和金属光泽,性质脆硬。
化学性质。砷化镓在600℃以下能在空气中稳定存在,不被非氧化性的酸侵蚀,常温下不与盐酸、硫酸等反应,但能与浓硝酸反应,也能与热的盐酸和硫酸作用。
应用。砷化镓具有高频、高温、低温性能好、噪音小、抗辐射能力强等优点,在电子学、光电子学、微电子学等领域有广泛的应用,如用于制作集成电路衬底、红外探测器、光子探测器等微波器件和高速数字电路。
此外,砷化镓还具有高电子迁移率和高饱和漂移速度等特性,使其在半导体器件中有广泛的应用。
关于砷化镓,北京清析技术研究院可提供位错密度测试,X射线测试,晶体完整性测试,机械载荷测试,光电效率测试,晶片测试,少子寿命测试,晶向测试,TTC测试,灵敏度测试,结构测试,晶胞测试,密度测试,杂质含量测试,元素测试,化学成分测试,成分分析
等检测项目。同时,北京清析技术研究院可对砷化镓芯片,砷化镓单晶材料,砷化镓晶体,砷化镓外延片等进行检测。
温波长检测方法
1. 干涉法
干涉法主要采用Fabry-Perot干涉仪进行测量。砷化镓晶片辐射的热辐射波长范围很宽,需要在大量的光谱范围内进行测量,所以需要使用高精度的Fabry-Perot干涉仪来提供高分辨率的光学信号,测量出热辐射波长的变化。
2. 分光计法
分光计法主要采用单色仪进行测量。单色仪可以将砷化镓晶片辐射的光谱区间变窄,从而提高了测量精度。
3. Fabry-Perot干涉法
Fabry-Perot干涉法采用Fabry-Perot干涉仪和光栅扫描仪对砷化镓晶片辐射光谱进行扫描测量。Fabry-Perot干涉仪提供了高精度、高分辨率的光学信号,可用于高精度温度测量。光栅扫描仪可以对砷化镓晶片的光谱区间进行快速、高效的扫描,从而提高测量效率。
检测标准
1、GB/T 20228-2021 砷化镓单晶
2、SJ 3241-1989 砷化镓单晶棒及片
3、GJB 5345-2004 砷化镓抛光片规范
4、GJB 3798A-2020 砷化镓材料缺陷图谱
5、GB/T 25075-2010 太阳能电池用砷化镓单晶
6、GJB 10074-2021 砷化镓抛光片规范
7、GJB 1927A-2021 砷化镓单晶材料测试方法
8、GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
9、GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片