薄膜介电测试是一种用于测量薄膜的介电常数和损耗因子的技术。薄膜介电测试的目的是为了确保在电路中使用的薄膜材料具有准确、稳定的电学性能。常用的薄膜介电测试方法有以下几种：
1、传统方法
以高频串联谐振电路的方式对薄膜样品进行测试，通过测量电路的谐振频率和品质因数来计算薄膜的介电常数和损耗因子。
2、微波共振法
使用微波频率的信号对薄膜进行测试，测量信号的反射、透射和相移等参数，计算薄膜的介电常数和损耗因子。
3、椭偏振法
通过测量薄膜对光线的偏振影响来计算薄膜的介电常数和损耗因子，适用于透明薄膜的测试。
薄膜介电常数测试方法
1、共振频率法
共振频率法是一种常用的测量薄膜介电常数的方法。该方法利用电感器和薄膜组成的谐振器，通过测量谐振频率来确定薄膜的介电常数。共振频率法的优点是精度高、测量速度快，适用于大面积薄膜的快速测量。
2、电容法
电容法是一种基于电容器原理的测量方法，通过在电极间施加电压，测量电容器的电容值来计算薄膜的介电常数。电容法的优点是简单易行、成本低，适用于小面积薄膜的测量。
3、传输线法
传输线法是一种利用传输线传输电磁波的测量方法。通过测量电磁波在薄膜表面的反射和传输系数，可以计算出薄膜的介电常数。传输线法的优点是精度高、适用范围广，可以用于不同厚度和不同材料的薄膜测量。
4、光学法
光学法是一种利用光学干涉原理的测量方法，通过测量薄膜的光干涉效应来计算介电常数。光学法的优点是精度高、非接触测量，适用于透明和非透明薄膜的测量。
测试标准
1、ECA 479-A-199350/60Hz倍压器电源的薄膜纸介质和薄膜介电电容器
2、401-1973 用于功率半导体应用的纸 纸/薄膜薄膜介电电容器
3、ANSI/EIA 479-A:199350/60Hz倍压电源用的薄膜纸介质和薄膜介电电容器
4、ECA 580BA00-1997空白详细规范:固定金属电极薄膜介电AC电容器
5、495-A-1990用于交流电应用的带有金属化纸电极的薄膜介电电容器
6、KS C 2150-2023 高频范围（500 MHz∼10GHz）介电薄膜介电常数和介电损耗的测量方法
7、BS EN 130500:1998电子元件质量评估协调制度分规范：直流固定金属化聚碳酸酯薄膜介电电容器
