氯硅烷是一类硅、氯、氢的化合物。氯硅烷常见的类型包括四氯化硅(SiCl4)、三氯化硅(SiHCl3)、二氯化硅(SiH2Cl2)等。这些化合物在化学工业中应用广泛，例如，它们可以用作硅外延片生产过程中的硅源，以及制备有机氯硅烷和有机硅烷的原料。氯硅烷还可用于电子气、外延、化学气相淀积等过程中。氯硅烷具有刺激性，可能对眼睛和呼吸道造成伤害，在处理时需要采取适当的安全措施。
制备方法
可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。
关于氯硅烷，北京清析技术研究院可提供成分分析、含量检测、化学性质、纯度、组分、物理性质等检测项目。北京清析技术研究院可对三甲基氯硅烷、三氯硅烷、甲基氯硅烷、电子级多晶硅、一甲基三氯硅烷、工业用二甲基二氯硅烷、太阳能级多晶硅、食品添加剂、工业用苯基三氯硅烷、二甲基氯硅烷、氯乙硅烷等进行氯硅烷的检测。
检测标准
1、YS/T 1300-2019氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
2、T/ZZB 0386-2018 苯基三氯硅烷
3、T/FSI 021-2019 甲基二氯硅烷
4、KS M 8477-2013 三甲基氯硅烷
5、T/FSI 020-2019 甲基氯硅烷共沸物
6、DB15/T 1242-2017 氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法
7、GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
8、T/FSI 080-2022 甲基乙烯基二氯硅烷
9、T/ZS 0464-2023 回收氯硅烷混合物
