燕山石化 PP聚丙烯4220
对实施例1所制得的阳TAT0(40nm)/Cu0x(lnm)/Ag(5nm)样品（在步骤3之后所得的样品）和对比例1所制得的PET/IT0(40nm)/Ag(5nm)样品（在步骤3之后所得的样品）分别进行S维表面原子力显微镜(AFM)测试，所得结果见图3,图3中（a)对应实施例1中的PET/IT0(40nm)/Cu0x(lnm)/Ag(5nm)样品，图3中（b)对应对比例I中的阳T/lT0(40nm)/Ag(5nm)样品；图3中两幅图的扫描面积均为1皿X 1皿，大Z轴范围值为30 nm。从图中可W看出，1nm厚的化Ox巧晶层的引入使得银膜的表面变得非常平滑，其表面均方根粗糖度(RMS)仅为 0.48nm，而没有CuOx巧晶层的银膜，其表面则相对比较粗糖，其RMS为4.73 nm。运表明CuOx巧晶层的引入确实对后续银膜的生长起到了很好的润湿作用，利用其可W获得原子级超平滑的银膜。对薄膜电学性质测试结果显示有CuOx巧晶层的PET/IT0(40nm)/Cu0x(1加1)/4邑（5加1)样品其方块电阻为6.7〇/口，而没有〇1〇、巧晶层的？61'/11'0(40加1)/八邑(5nm)样品其方块电阻则为87 Q/□，运表明在有1 nm厚的CuOx巧晶层的条件下，在5 nm的等价厚度条件下即可形成连续的银膜，明显低于通常没有巧晶层时形成连续银膜所需的 10nm左右的低薄膜厚度值(逾渗厚度阔值）。
有1 nm厚的CuOx巧晶层的样品具有明显更局的可见光透过率，其具有高透过率的波长范围更宽。计算样品在可见光(400~800 nm)光谱范围的平均透过率，结果显示有化山巧晶层的口0(40皿)/(：1化(1皿)/4旨(5皿)/口0(40]1111)样品其可见光平均透过率为89.02%，而没有化山巧晶层的口0(40皿)/4旨(5加1)八1'0(40皿）样品其可见光平均透过率仅为74.35%。运主要是由于没有CuOx巧晶层的5皿银膜不能形成连续的银膜，而是W颗粒状的银岛形式存在，导致表面比较粗糖，运一点可W通过图3(b)看出，运些颗粒状的银岛对可见光存在局域表面等离激元共振吸收，其粗糖的表面也会对光具有较强的散射作用，造成其相对较低的可见光透过率。从图4中还可W 看出，有1nm厚的化Ox巧晶层的样品具有高透过率的波长范围更宽，运表明化Ox还具有 一定的拓展Ag膜透过率的波长范围的作用。
[0036] 对实施例1所制得的阳TAT0(40nm)/Cu0x(lnm)/Ag(5nm)样品（在步骤3之后所得 的样品）和阳TA TO (40nm) /CuOx (1 nm) /Ag巧nm) / 口0 (40nm)样品（在步骤4之后所得的样品）进行紫外-可见透射光谱测试，所得结果见图5,图5中的数据已经扣除了PET基材的吸收影 响。从图5中可W看出，在银膜表面沉积有40 nmITO顶层的样品与没有沉积该介质顶层的 样品相比，其在所观察的光谱范围内均具有明显更高的光透过率。IT0(40皿VCuOx(Inm)/Ag(5nm)/IT0(40nm)样品在可见光（400~800 nm)光谱范围的平均透过率为89.02%，没有40皿ITO顶层的样品其可见光平均透过率为75.63%。运一结果可归因于40nm厚的口0介质顶层可W明显地抑制Ag膜表面反射，增加光透过率的作用。
用机械累和分子累把磁控瓣射设备腔体的真空度抽到5.0 X 10-4化，通入30seem的氣气和氧气混合气(氧气所占百分比为0.5%)，压强调节为0.7 Pa,瓣射功率 为30 W，通过控制锻膜时间在基材上沉积40nm的口O层。
关闭步骤2中的氣气和氧气混合气，不破坏沉积室真空，继续在该腔室中沉积化Ox巧晶层，用机械累和分子累把磁控瓣射设备腔体的真空度抽到5.OXlCT4 Pa,通入30seem的氣气和氧气混合气(为分析化Ox层中氧含量X对纳米多层透明导电膜特性的影响，通过改变氧气所占比例制备了一系列纳米多层透明导电膜，具体条件见表1)，压强调节为0.6 Pa,瓣射功率为40 W，得到1nm的化Ojf晶层。
关闭步骤2中的氣气和氧气，不破坏沉积室真空，继续在该腔室中沉积Ag薄膜，用机械累和分子累把磁控瓣射设备腔体的真空度抽到5.OXlCT4 Pa,通入30 seem的氣 气，压强调节为0.7Pa,瓣射功率为30 W，得到5 nm的Ag层。