不必在拉紧状态下对多层薄膜进行热处理，例如可以通过在卷绕成滚筒状的状态下保持在加热炉中进行热处理。因此，本发明的方法适于大量生产。另外，采用本发明的方法，可以在55℃以上140℃以下的比较低的温度下进行热处理。根据本发明人的试验结果，如果在高温下对多层薄膜进行热处理，则显示透湿度降低的趋势，特别是如果在170℃以上的高温下进行热处理，则可知透湿度显著降低。而且，在本发明的方法中，不需要吸湿性树脂层，也不需要将吸湿性树脂层干燥至干燥的状态。本发明的防湿性多层薄膜通过将蒸镀膜的合计层数调节至适当的范围内，可以具有适于用作例如EL元件主体的防湿材料的柔性。薄膜晶体管作为液晶显示以及有机发光二极管有源驱动的开关器件，得到了广泛的研究。真空方法制备薄膜晶体管已经开始商业化，但是其制造设备昂贵，成本高等因素无法满足低成本的需求。因此，需要开发喷墨打印，丝网印刷，溶液旋涂等低成本制备薄膜晶体管的方法。但以上方法制备的有源层和绝缘层薄膜往往难以稳定地得到高的薄膜晶体管的特性，针对以上问题，可以通过水蒸气氧化退火处理即湿法制备薄膜来控制氧缺陷量和降低缺陷能级，提高迁移率。另外，现有的水蒸气氧化退火技术通常都为直接通入水蒸气，氧化过程并不充分，导致薄膜表面粗糙，透射率低的缺点。
提供一种防湿性多层薄膜的制造方法，其特征在于，在具有于非吸湿性树脂层的至少一面形成无机氧化物或金属的蒸镀膜而成的复合薄膜的防湿性多层薄膜的制造方法中，(1)制作具有复合薄膜的蒸镀膜面通过粘结剂层与其他非吸湿性树脂层面或其他复合薄膜的蒸镀膜面层压而成的层结构，且与粘结剂层邻接进行层压的蒸镀膜的合计层数(n)为2～8的多层薄膜；接着，(2)在55℃以上140℃以下的干热环境中，对该多层薄膜进行10小时以上的热处理。
