燕山石化SBS4403橡胶道改防水
前驱体溶液30和衬底之间的表面张力和毛细作用力使两衬底紧紧吸合从而使两衬底的待涂布面均匀、完整地沉积上前驱体溶液30,此时,以1mm/s到100mm/s的移动速度将第二衬底20相对于衬底10均匀缓慢地移动,从而使两衬底逐渐分离,分离后,前驱体溶液30能够完全覆盖两衬底的吸合面形成高质量的连续、完整、均匀的湿膜。
衬底清洁的步是使用单一或者混合组分的清洁剂,例如酸或者碱清洗衬底;随后使用单一或者混合组分的去离子水、丙酮、乙醇或者其他有机溶剂对衬底进行超声清洗。以上步骤可进行一次或重复多次。之后用(压缩空气或氮气)吹干清洗剂和有机溶剂。后进行若干表面处理,例如氧气等离子体处理、臭氧处理以及紫外光辐射等,以改善衬底表面的润湿性。
当两衬底待涂布面完全重合后,需于第二片衬底背表面法线方向施加一压力以排出过剩的前驱体溶液30和存在于两衬底间的气泡,该压力优选在1n/m2到1000n/m2的范围内。
影响薄膜特性的主要工艺参数包括:前驱体溶液的组成、浓度和粘度,排除气泡时施加压力的大小以及分离衬底的速度,通过调节前驱体溶液的表面张力以及衬底的润湿性,优化以上参数就能够得到高质量薄膜。
利用前驱体溶液和衬底间的表面张力和毛细作用吸合后再分离,在两片衬底上形成均匀、完整、高质量的薄膜,并且实现方法简单,高效、成本低、高产能,能够制备单层或者多层相同或不同成分、多种厚度的薄膜。