加热层压薄膜时，使之通过2根独立驱动滚筒A和B之间，并且调节各独立驱动滚筒的旋转速度，从而控制层压薄膜的伸缩率。具体地说，相对于驱动滚筒A的线速度，将驱动滚筒B的线速度调整为1.02～0.95倍，在拉紧的状态下加热层压薄膜。另外，在该公报记载的方法中，希望使加热温度在双轴拉伸塑料薄膜的玻璃化温度+70℃以上、熔点以下。在该公报的实施例中公开了在拉紧条件下，使层压薄膜与230℃的热滚筒接触1.5秒(实施例1)、与190℃的热滚筒接触3.2秒(实施例2)、与250℃的热滚筒接触0.9秒(实施例3)的实例。在该公报的其它实施例中，公开了使层压薄膜缓慢流过独立驱动的2根滚筒之间，同时在170℃的加热炉中加热10分钟(实施例4)，以及在210℃的加热炉中加热2分钟(实施例5)的实例。公开了通过该方法，层压薄膜的透湿度(通过杯(cup)法在40℃、相对湿度差90％下测定)由热处理前的1.5g/m2·day被改善为热处理后的0.6g/m2·day的实例(实施例4)。通过将在聚乙烯醇等吸湿性树脂层的两面直接或通过粘结剂层设置了无机氧化物薄膜得到的透明多层薄膜干燥，可以得到具有优良的防湿性能的防湿薄膜(PCT/JP98/01781)。但是，该防湿薄膜必须使用吸湿性树脂，在树脂材料的选择上受到限制。另外，该防湿薄膜除透湿度以外，为了也将透湿量抑制得较低，需要通过包括真空干燥的高度的干燥处理，将该吸湿性树脂层干燥至干燥状态。
本发明的目的在于提供一种防湿性多层薄膜及其制造方法，所述防湿性多层薄膜由含有在非吸湿性树脂层的至少一面形成了无机氧化物或金属的蒸镀膜的复合薄膜，必需有非吸湿性树脂层和蒸镀膜的多层薄膜构成，显示高度的防湿性能。
为了克服上述背景技术中的问题，进行了悉心研究，结果发现，制作具有下述层结构，该层结构为在非吸湿性树脂层的至少一面形成无机氧化物或金属的蒸镀膜而成的复合薄膜的蒸镀膜面通过粘结剂层与其它非吸湿性树脂层面或其它复合薄膜的蒸镀膜面层压而成的层结构，且与粘结剂层邻接进行层压的蒸镀膜的合计层数(n)为2～8的多层薄膜，接着，对该多层薄膜在不到140℃的比较低的温度下进行长时间热处理，从而可以得到具有与PCTFE薄膜相匹敌的高度防湿性能，也具有适度的柔性或柔软性的防湿性多层薄膜。
