阿瑞斯-µVOC AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统
2021-06-04 14:25 183.95.50.107 3次
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- 北京杜克泰克科技有限公司商铺
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- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第6年主体名称：北京杜克泰克科技有限公司组织机构代码：110108015314120
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- AMC监测，AMC在线监测，AMC在线检测，空气分子污染物监测，ppb级VOC
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产品详细介绍
阿瑞斯-μVOC空气分子污染物监测系统
高达16通道的低于ppb级浓度有机物监测
连续监测@ sub ppb级
醋酸、草酸 、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、邻苯二甲酸二辛酯（DOP）、邻苯二甲酸二丁酯（DBP）、邻苯二甲酸二乙酯（DEP）、异丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物
空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。
空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工
随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。
污染物从加工到超净间的扩散，并且成份的增加，分子污染物来自多个源头，比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。
μ-VOC 系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联，完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量，提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。
亮点
一般特点
在线连续质量监测全部自动化系统
低浓度VOC监测
独立分开测量有机物成份
Sub-ppb检测限
集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能
应用
洁净间污染物监测
过滤器状态监测
加工过程全组份测量诊断污染物
通过成份形成跟踪污染物源头
许多生产过程化学药剂成为污染物的源头，NH3因光刻工艺过程而Zui为。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3，等等很多类似的化学药剂的分解与释放，都造成AMC的增加。而实时迅速测量这些成份浓度的μ-VOC 系统可以跟踪污染物形成的时间和路线。
工作原理
GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。
当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。
特性:
工作原理： 测量量程: 准确度： 尺寸 (HxWxD) 防护等级 工作温度: 通讯: 电源: 供气要求: 采样通道: 分辨率: 测量组份: | GC-FID 0-200 ppb 2% 160 cm x 60 cm x 80 cm Nema 12 或IP54不锈钢外壳 10°C—35 °C RS-232, Ethernet, ODBC 230 Vac, 50/60 Hz 900W CDA 5 l/min H2 130 sccm(可选H2发生器) 高达16 0,1 ppb 高达30, 客户可定制 |
可测组份
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH 2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH 异丙醇 （CH3）2CHOH 乙醇胺 H2NCH2CH2OH 环己胺 C6H11NH2 环聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n 对二氯苯 ClC6H4Cl 邻苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2 邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 十甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5 二甲苯 (CH3)2C6H4 三甲基硅醇 C3H10OSi | （t-乙酸丁脂）二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH 六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3 二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH 邻苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2 邻苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2 邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2 三乙胺（C2H5）3N 邻苯二甲酸二环己酯 C6H4(C=OOC6H11)2 磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O 十二甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O ------等等 |
| 成立日期 | 2012年10月22日 | ||
| 法定代表人 | 张书叶 | ||
| 注册资本 | 100 | ||
| 经营范围 | 技术开发、技术推广、技术转让、技术服务；计算机技术培训；销售开发后的产品、仪器仪表、机械设备、计算机、软件及辅助设备；租赁机械设备（不含汽车租赁）；货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；... | ||
| 公司简介 | 北京杜克泰克科技有限公司，是一家专注于工农业科研、生产、研发过程中微量气体、液体、固体的浓度测量与分析的科技公司。总部位于北京，在上海、武汉设有办事处。主要产品基于最前沿的光电技术，比如光声光谱、荧光淬灭、荧光诱导、TDLAS等原理。与多家国外先进的光电技术公司合作并开发，致力于为环境保护、能源电力、石油化工、农林业、冶金矿业、天然气、生物制药等行业提供ppt级、ppb级、ppm级物质浓度测量解决 ... | ||
