DKG-ONE CF4 气态分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析仪

测量参数

l  响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约15秒到几分钟不等

l  监测下限：N2O2 ppb，CH4 10 ppb

l  动态量程：5个数量级（检测下限的100,000倍)

l  重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%

l  准确度：校准浓度下好于5%，受限于校准气体准确度

l  温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移

l  压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移

可靠的监测

l  高灵敏度的GASERAONE CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。GASERA ONECF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。

l  运行条件

温度范围：0℃…+49℃

湿度：无凝露

压力范围：750mbar-1050mbar

防尘/水等级：IP20(IEC 529)

l  储存条件

温度范围：-20℃ ~+60 ℃

l  样品气体条件

温度范围：0 ~+49 °C

湿度：无凝露，温度达35°C时Zui大相对湿度80%，温度达49°C时线性下降至35%

压力：750mbar…1050 mbar

气流：约1L/min

颗粒物<1 μm

优势

l  准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制

l  快速的响应时间，以捕捉急速上升的浓度

l  独立运行系统，内置气体交换泵

l  无耗材或者化学试剂

l  短光程，单点校准也可达到业内领先的动态量程

l  直接吸收测量，无漂移

l  校准间隔长（可达数年）

l  高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰

特点

l  高选择性的监测痕量水平的CF4

l  检测下限(LoD)低于0.1ppb

l  响应时间可设置，从10秒到几分钟

l  动态范围宽，运行稳定

l  无耗材

l  低样品量（几ml）

l  内置气体交换系统

l  重新校准间隔长（几个月）

l  直观的用户界面

l  内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果

l  可通过局域网远程操作

通用

l  19”3U外壳，适用于台式或者机架固定安装

l  尺寸：48.4cm W x 13.9 cm H x 44 cm D  (19.1 in W x 5.5 in H x 17.3 inD)

l  重量：约13Kg

l  内置计算机，带7”宽屏显示器

l  数据存储：在Zui短采样间隔连续监测的情况下，足够存储一年

l  内部总气路体积：30ml

l  电源

输入电压：90-264VAC，47-63 Hz

输入功率：Zui大75W

l  接口：以太接口，USB，可选RS485，RS232，电流输出，电压输出，MODBUS和AK协议

l  GASERAONE GHG可以通过智能手机，平板，电脑或者另一台GASERAONE（即将推出)远程控制

技术原理

l  工作原理：红外光声光谱

l  超灵敏专利光学麦克风，基于微电机悬臂梁传感器，结合激光干涉仪测量悬臂梁的微观运动

l  光源配置：分布式反馈量子级联激光

l  样品池温度稳定于50℃

标准

l  符合低电压指令2014/35/ EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

技术应用

l  GASERAONE CF4分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度以无时延的探测Zui微小浓度的CF4喷溅或者溢出，保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。

检测需求

l  洁净室需要控制污染物水平。准确、可靠和低维护成本的洁净室空气分子污染物AMC控制可以显著的提升产能。