Aerotech气浮直线平台

Aerotech气浮直线平台

ABL1000气浮平台

1为高性能校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

ABL1500直线电机平台

1为高性能扫描和检测应用设计

2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈

3预加负载气浮导轨(空气轴承)

4大负载高刚性几何特性极好

行程≤500mm

重复定位精度±0.10um

平面度±0.25um 

ABL2000气浮平台

1为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计

2运动超平滑,速度稳定性突出

3直线编码器或激光干涉仪反馈

4行程达1.2米

5预加负载气浮导轨(空气轴承)

6非接触设计

行程≤1200mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.20um

ABL3600气浮平台

1为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计

2双轴,大孔,开放式结构

3非接触直线编码器反馈,精度高

4双直线电机驱动XY轴

5所有轴预加负载气浮导轨(空气轴承)

行程≤250mm

精度±1um

直线度±0.50um

平面度±1um 

ABL8000气浮平台

1为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计

2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好

3所有轴预加负载气浮导轨(空气轴承)

4行程达1米

5直线编码器或激光干涉仪反馈

6可集成包括花岗岩的XY子系统

行程≤1000mm

直线度±0.40um

平面度±0.40um 

ABL9000气浮平台

1世上高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合

2所有轴预加负载气浮导轨(空气轴承)

3行程达1.2米X1.2米

4Y轴双直线电机驱动

6主动控制偏转

平面度±0.50um 

AHL9000直线电机平台

1为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计

2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承

4双直线电机驱动步进轴

行程≤350mm

精度±1.0um

直线度±0.60um

平面度±0.60um 

ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动

2所有轴都预加载荷

3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动

3行程达1mx1m

4非接触直线编码器(光栅)

5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱

6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．

精度±2um

重复定位精度±0.5um

直线度±1um

平面度±1um