物理气相沉积设备检测中心，真空镀膜设备第三方检测机构

物理气相沉积设备检测是针对物理气相沉积设备的镀膜精度、真空性能及安全运行状态开展的分析技术。通过性能测试与参数核验，测定膜层厚度均匀性、真空度稳定性等关键指标，直接关系半导体、刀具、装饰件等产品的表面性能与质量，可有效预防因设备性能不达标导致的膜层脱落、厚度偏差等问题，为物理气相沉积设备质量管控与企业生产流程优化提供科学依据。

物理气相沉积设备检测检测范围

涵盖磁控溅射镀膜机、真空蒸发镀膜机、离子镀膜机、电弧离子镀膜机、脉冲激光沉积镀膜机等类型，包括小型实验室用镀膜机、中型生产线用镀膜机、大型工业级镀膜机、高精度半导体专用镀膜机等，适用于半导体芯片镀膜、刀具表面强化、装饰件镀膜、光学元件镀膜、医疗器械表面处理等场景，覆盖设备出厂质量检测、安装调试后性能验证、长期运行后状态评估、维修保养后精度校准等环节。

物理气相沉积设备检测检测项目

膜层厚度均匀性、膜层附着力、膜层硬度、真空度、真空泄漏率、靶材消耗均匀性、沉积速率、温度控制精度、离子束能量稳定性、设备密封性、冷却系统效率、安全联锁功能、电气系统稳定性。

物理气相沉积设备检测检测标准

GB/T 30766-2014《真空镀膜设备 通用技术条件》

GB/T 18682-2022《真空技术 真空泵性能测量方法》

GB/T 4340.1-2009《金属材料 维氏硬度试验 第 1 部分：试验方法》（膜层硬度参考）

JB/T 12967-2016《磁控溅射镀膜设备》

GB/T 6075.1-2019《机械振动 在非旋转部件上测量评价机器的振动 第 1 部分：总则》

清析技术研究院的优势

资质证书

我院已获得检验检测机构资质认定证书（CMA资质证书）、中国合格评定国家认可委员会实验室认可证书（CNAS资质证书）、农产品质量安全检测机构考核合格证书（CATL资质证书）、质量管理体系、环境管理体系、职业健康安全管理体系认证证书等资质证书。

仪器设备

我院现配有X射线荧光光谱仪（XRF）、阿贝折射仪、闭口闪点自动测定仪、红外光谱仪（IR）、火焰光度计、快速溶剂萃取仪、电感耦合等离子体光谱仪（ICP）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、顶空气相色谱质谱联用仪(HS-GCMS）、捕集阱顶空-气质联用仪(PT-GCMS)、恒温恒湿系统、离子色谱仪（IC)、气相色谱仪（GC）、气相色谱质谱联用仪（GCMS）、气相色谱质谱联用仪（热裂解）GC-MS(PY)、热脱附-GCMS、示波极谱仪等。