Aerotech 精密气浮转台
Stage | ARA1000精密气浮转台
● 高承载能力
● 高刚性
● 直接驱动无刷无槽伺服电机
● 大孔径
● 与AVL1000升降平台轻松配置多轴应用
ABRS旋转气浮平台
1为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
ABRT旋转气浮平台
2无刷无槽伺服电机直接驱动,高扭拒输出
6超大的空心轴径,无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec