设备配置：
一、手套箱
1．金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台：
1.1 箱体尺寸：双工位手套箱，长度约1800 mm。箱体预留镀膜
机接口法兰，手套箱后板可安装一台镀膜机，手套箱内具有
安装器件封装与性能检测装置的空间。
1.2 配置4只手套，可方便实现沉积室取送样品，以及器件封装
与性能检测等操作。
1.3 配置≥ 2套KF40标准接口。
2．手套箱技术指标与功能要求：
2.1箱体材料：不锈钢箱体。
2.2箱体结构：具有可拆卸的安全玻璃视窗；配双层不锈钢物
架；带有安全阀；
2.3密封性：视窗与箱体之间无泄漏，手套口与手套和视窗之
间密封良好、耐用，无泄漏。
2.4泄露率：≤ 0.05vol%/h，泄漏率可检测；H2O <1ppm，
O2< 1ppm。
2.5 净化效率：高净化效率，再生间隔时间长。
2.6过渡仓：手套箱的箱体外侧各另设置一个过渡舱，过渡仓
尺寸≥ 150mm，长度为300 mm。
2.7传送及操作方式：过渡仓内设置可滑动托盘，样品可通过
移动托盘传送至手套箱内，托盘易于拆卸；手动操作。
2.8控制系统：用户友好的中英文操作界面的触屏。实现以下
控制功能：工作压力调节、箱内气体自动清洗、箱内气氛
自动报警、显示操作错误提示、可手动或自动检测泄漏率
等。
2.9 其他附件： （1）真空泵，气体纯化系统：气体纯化柱、
循环风机、有机溶剂吸附柱； （2）水、氧分析仪：分析
仪精度0.2 ppm或以上；分析仪输出可直接连接到触摸控制
屏，可对气体循环系统进行自动控制，实现自动循环；可设
定报警值； （3）箱内电源接口：配多孔电源插座。 （4）
手套箱总体功能要求：样品送入大（或小）过渡仓后，可在
高纯气氛或真空气氛条件下实现有机薄膜沉积、金属电极薄
膜沉积、器件封装及性能检测等功能。 （5）手套箱验收
标准：使用99.999%惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均
小于1ppm。
二、真空热蒸发镀膜机系统
1. 技术要求：
1.1真空度: 极限真空<2.5*10-5Pa，工作真空度< 8*10-4Pa，
抽速：从大气抽至10-4Pa用时应≤ 30min；
1.2样品架： （1）可对样品实施360度电动旋转，转速可
在0 ~ 30转/min内连续调节。 （2）高度可调，蒸镀
距离在120-250mm范围内可调节。
1.3样品尺寸：样品基本尺寸为15×15mm/块，可分别承装如
下数量的样品： （1）3块×3块排列方式，可承装9块
/次。 （2）4块×4块排列方式，可承装16块/次。
1.4各密封接口真空漏率≤5×10-9Torr?L/s（用进口氦质谱
检漏仪检测）。
1.5膜厚控制设备：膜厚探头2个，探测数据可同时显示在膜
厚仪上。
1.6样品台（基片台）配备挡板，蒸发源配备可有效防止不同
材料交叉污染的遮挡装置。
2. 配置：
2.1真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和
进样。
2.2镀膜机与手套箱的连接方式： 要求镀膜机位于手套箱外
（背后），蒸发室在手套箱内有方形门，可实现样品由手套
箱内直接传进蒸镀室。要求蒸镀室与箱体之间无泄漏，蒸
镀室口与手套箱接口密封良好、耐用，无泄漏。
2.3要求蒸发室在手套箱外另有一个门，手动开门设置，便于
清理和维修操作。
2.4 蒸发源4套：可蒸发金（Au）、银（Ag）、铬（Cr）、钛（Ti）、
铝（Al）、铂（Pt）、氧化钼（MoO3）和LiF等材料。蒸发
源相关的其他要求如下： （1）蒸发电极可加载蒸发舟
或者钨篮，配备标准钼舟及钨蓝各10个。 （2）蒸发电
源1套，可转换供四套蒸发源使用，可在一次抽真空操作
后实现4种材料的顺次蒸镀，既可连续蒸镀4层不同材料。
2.5真空获得系统：预抽机械泵1个，分子泵1个以及相应的
附件，分子泵水冷系统；分子泵与沉积室之间具备闭锁条
件。
2.6升降样品架。
2.7真空测量系统。
2.8膜厚测试系统。
2.9工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源
控制系统，膜厚测量系统，总电源控制区。
