脉冲激光沉积镀膜设备

1.   溅射真空室组件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，选用真空专用

304#不锈钢材料制造氩弧焊接，表面进行喷玻璃丸处理。各法

兰口按超高真空系统设计，采用金属密封。

2.   采用一套600L/S分子泵+4L/S机械泵通过CF150超高真空闸

板阀进行主抽，通过CF35角阀旁抽。

3.   封接观察窗2个， Ф100石英玻璃窗口1个(248nm紫外波段，

供激光入射用的)

4.  电磁隔断放气阀：（北京）KF40  1台。

5.  分子泵与机械泵连接金属波纹管  1套； 机械泵与真空室之间的

旁抽金属波纹管管路及CF35角阀1套。

6.  CF150闸板阀：用于分子泵与真空室隔离。

7.  真空测量及电控系统1套，ZDF数显复合超高真空计（全部采

用金属规管）                1台 。

8.  总控电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断电断水缺相保护

功能1套。

9.  机架：优质方钢型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只脚

轮，可固定，可移动。

10. 附件相关规格的金属密封铜圈，氟橡胶密封圈全套不锈钢紧固螺

栓、螺母、垫片等；全套无氧铜密封垫圈（相关规格）CF16：3

个；CF35：3个；CF150：2个；CF100:4个；

11.相关的技术资料各类外购件使用说明书：设备结构原理图及关键部件结

构图（1套）电控系统原理结构图（1套）装箱单（1套）设备出厂合

格检验证明（1套

11. 工作条件及主要技术参数：供电：～380V三相五线供电系统（容量

5KW）。相对湿度；≤80﹪。