空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。
阿瑞斯-µVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。
随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。
污染物从加工到超净间的扩散，并且成份的增加，分子污染物来自多个源头，比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。
阿瑞斯-µVOC 系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联，完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量，提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。
特点：
•在线连续质量监测全部自动化系统•低浓度VOC监测 •独立分开测量有机物成份•Sub-ppb检测限•集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能。
应用：
•洁净间污染物监测• •过滤器状态监测• 加工过程全组份测量诊断污染物
工作原理：
GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。
当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。
特性：
工作原理：GC-FID
测量量程:0-200ppb
准确度：2%
尺寸(HxWxD)160 cm x 60 cm x80 cm
防护等级Nema12 或IP54不锈钢外壳
工作温度:10°C—35°C
通讯:RS-232,Ethernet, ODBC
电源:230Vac, 50/60 Hz 900W
供气要求:CDA5 l/min H2 130 sccm (可选H2发生器)
采样通道:高达16
分辨率:0,1ppb
测量组份:高达30,客户可定制
可测组份：
2-氨基乙醇CH3NH2CH2OH
2-氨基丙醇CH3NH2C2H4OH
异丙醇（CH3）2CHOH
乙醇胺H2NCH2CH2OH
环己胺C6H11NH2
环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n
对二氯苯ClC6H4Cl
邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2
邻苯二甲酸二癸酯C6H4(C=OOC10H21)2
十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5
二甲苯(CH3)2C6H4
三甲基硅醇C3H10OSi
（t-乙酸丁脂）二羟基甲苯H3CC6H3(t-C4H9)2OH
六甲基二硅胺烷（CH3）3SiNHSi(CH3)3
二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH
邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2
邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2
邻苯二甲酸二丁酯C6H4(C=OOC4H9)2
三乙胺（C2H5）3N
邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2
磷酸三乙酯（C2H5O）3P=O
十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6
三甲酚磷酸酯（CH3C6H4O）3P=O
