等离子体检测，辉光放电等离子体检测

辉光放电等离子体检测是针对辉光放电产生的等离子体的物理特性、化学组成及作用效能开展的分析技术。这类检测通过光谱分析、电学测量等手段，测定等离子体的电子密度、激发温度等关键指标，直接关系其在薄膜沉积、材料刻蚀等领域的应用效果，对保障工艺稳定性与产品质量至关重要，为设备调试与工艺优化提供科学依据。

检测范围

涵盖直流辉光放电等离子体、射频辉光放电等离子体、脉冲辉光放电等离子体等，包括惰性气体辉光放电、反应气体辉光放电等类型，适用于半导体薄膜制备、金属表面改性、材料成分分析等场景，覆盖等离子体源性能测试、工艺过程监控、沉积薄膜质量评估、刻蚀精度验证等环节。

检测项目

电子密度、电子温度、激发温度、等离子体电位、活性物种浓度、沉积速率、刻蚀速率、薄膜均匀性。

检测标准

GB/T 39815-2021《低温等离子体 术语和定义》

GB/T 35099-2018《等离子体增强化学气相沉积 术语和定义》

SJ/T 11639-2016《等离子体显示器件用氧化镁薄膜规范》

ASTM E1504-11《用质谱仪检漏仪进行等离子体检漏的标准实施规程》

ISO 14224:2010《表面化学分析 俄歇电子能谱和 X 射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南》

仪器设备

我院现配有X射线荧光光谱仪（XRF）、阿贝折射仪、闭口闪点自动测定仪、红外光谱仪（IR）、火焰光度计、快速溶剂萃取仪、电感耦合等离子体光谱仪（ICP）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、顶空气相色谱质谱联用仪(HS-GCMS）、液相色谱串联质谱联用仪（LC-MS)、紫外可见分光光度计（UV)、液相色谱仪、原子荧光（AFS）、荧光白度计、原子吸收光谱（AAS)等。

资质证书

我院已获得检验检测机构资质认定证书（CMA资质证书）、中国合格评定国家认可委员会实验室认可证书（CNAS资质证书）、农产品质量安全检测机构考核合格证书（CATL资质证书）、质量管理体系、环境管理体系、职业健康安全管理体系认证证书等资质证书。

我院总部位于北京，全国在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉、杭州、天津、济南、郑州、西安、沈阳等地区设立29家分院，拥有超过500名技术人员，20000㎡以上的实验及办公场地。每年出具超过20000份报告，累计服务客户45000多家，客户类型包含公检法单位、高校及科研院所、500强企业、跨国公司等。