德国MUNK电源维修主要系列:ΡKA2,DCAC100,AS100,HS100,ESA2000, HSG2000,E230G60/45;E230 G100,D400 G100全系列型号。
常见维修型号包括:D400 G100/75WRG-TFMYCT14;MUNK GmbH D400 G100/100WRG-TFMYCT14;MUNK GmbH D400 G100/50 WRG-TFMYCT;E230 G60/45WRG-TFMYCT24等。
对于单靶或者单弧源来说,可以进行直流和单HiPIMS高能脉冲、直流和单脉冲以及单脉冲和单HiPIMS高能脉冲叠加,实现共溅射的功能。直流和单HiPIMS高能脉冲叠加。