dressler电源维修 LFGS-1250C 射频电源维修

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LFGS射频发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放大器理念，是一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理设备上。

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。从事大功率射频RF电源及匹配器维修，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、IONIMP设备电源，包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。