掩膜板检测机构，掩膜板反射率检测

掩膜板（Mask）是光刻工艺中不可或缺的部件，用于将设计图形透射到光刻胶上。掩膜板上承载的设计图形通过光线透射，将图案转移到光刻胶上，其性能直接影响光刻工艺的质量。掩膜板在投影式光刻机中位于会聚透镜与投影透镜之间，通常不与晶圆直接接触。现代光刻机一般使用缩小4倍的掩膜板图形进行透射。

检测流程：

1、沟通需求：了解待检测项目，确定检测范围；

2、报价：根据检测项目及检测需求进行报价；

3、签约：签订合同及保密协议，开始检测；

4、完成检测：检测周期会根据样品及其检测项目/方法会有所变动，具体可咨询检测顾问；

5、出具检测报告，进行后期服务；

公司优势：

1、检测周期短

2、先进的仪器设备以及强大的工程师团队

3、独立的实验室，合理分工

4、签订保密协议，注重客户隐私

5、数据严谨：出具的报告经多层审核

掩膜板检测范围：

石英玻璃掩膜板、苏打玻璃掩膜板、低膨胀玻璃掩膜板、透明树脂掩膜板、硬质遮光膜掩膜板、乳胶掩膜板、DUV掩膜、EUV掩膜等

掩膜板检测项目：

平整度检测、厚度检测、表面缺陷检测、微观分析、化学成分分析、反射率检测、光学密度检测、直角度检测、CD精度检测、位置精度检测、较小线宽检测、外观质量检测、表面平整度检测、铬膜厚度检测、较小缺陷检测等

掩膜板检测标准（部分）：

1、CSN 35 8971-1984 半导体器件.掩膜基件和掩膜.特征参数的测量方法

2、 IPC TM-650 5.5.6.1-1998 焊料掩膜涂层标准测试模式

3、 GOST 27716-1988 印刷电路板的光掩膜.一般技术条件

4、 IPC TM-650 5.5.6.2-1998 条纹焊料掩膜涂层标准测试模式