在日常洁净环境中,为达到洁净度的合格评定,悬浮粒子是其中必不可少的检测项目。
悬浮粒子检测方法
适用范围:洁净区中悬浮粒子监测和洁净区等级验证
测试前准备:
(1)洁净区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应(无特殊要求时,温度在18~26℃,相对湿度在45%~65%为宜),还应满足测试仪器的使用范围。
(2)风速或压差的测试应符合要求
(3)静态测试时,室内测试人员不得多于2人
(4)单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始
(5)非单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始
(6)采样点的位置一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置
(7)对任何小的洁净室,采样点的数目都不得少于2个,总采样次数不得少于5次,每次zui小采样量如下图:
(8)布置的采样点应避开回风口,采样时测试人员应在采样口的下风侧
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