甲硅烷是一种硅与氢的化合物，化学式为SiH4，也被称为四氢化硅或硅烷。它是一种无色气体，具有大蒜般的恶心气味，呈正四面体结构。甲硅烷的分子量是32.117，密度为1.114 kg/m³，熔点为-185℃，沸点为-112℃，并且可溶于水。由于其自燃性质，甲硅烷需要小心处理和储存，因为它会与空气中的氧气发生反应，从而导致火灾或爆炸。甲硅烷在半导体工业中是简单、常用的氢化硅之一，用于通过化学气相沉积(CVD)沉积薄膜硅，还用于生产高纯硅和氮化硅。预计到2029年，全球甲硅烷市场规模将达到9.1亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为10.8%。
关于甲硅烷，北京清析技术研究院可提供纯度检测、含量分析、残留物检测、表面覆盖率检测、安全性评估、急性毒性试验等检测项目。北京清析技术研究院可对甲硅烷等进行检测。
检测方法
1、气相色谱-质谱联用(GC-MS)
这是一种常用的检测甲硅烷的方法。通过气相色谱将样品中的甲硅烷分离，用质谱进行定性和定量分析。GC-MS方法通常具有高灵敏度和选择性，可以检测甲硅烷的含量和纯度。
2、气相色谱-火焰光度检测法(GC-FPD)
这种方法适用于测定甲硅烷中硅的含量。样品中的甲硅烷经过气相色谱分离后，通过火焰光度检测器测定硅元素的含量。这种方法可以快速准确地测定甲硅烷中硅的含量。
3、气相色谱-气相色谱-质谱联用(GC-GC-MS)
这种方法结合了两台气相色谱和质谱仪器，可以更好地分析复杂混合物中的甲硅烷。通过第一台气相色谱进行分离，再通过第二台气相色谱和质谱联用进行的定性和定量分析。
检测标准
1、KS M 1659-2008(2023 工业用甲醛溶液（甲硅烷）
2、YS/T 1300-2019氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
3、T/HEBQIA 248-2024 烷氧基三甲基硅烷
