甲硅烷是一种硅与氢的化合物，化学式为SiH4，也被称为四氢化硅或硅烷。它是一种无色气体，具有大蒜般的恶心气味，呈正四面体结构。甲硅烷的分子量是32.117，密度为1.114 kg/m³，熔点为-185℃，沸点为-112℃，并且可溶于水。由于其自燃性质，甲硅烷需要小心处理和储存，因为它会与空气中的氧气发生反应，从而导致火灾或爆炸。甲硅烷在半导体工业中是简单、常用的氢化硅之一，用于通过化学气相沉积(CVD)沉积薄膜硅，还用于生产高纯硅和氮化硅。预计到2029年，全球甲硅烷市场规模将达到9.1亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为10.8%。
关于甲硅烷，北京清析技术研究院可提供纯度检测、含量分析、残留物检测、表面覆盖率检测、安全性评估、急性毒性试验等检测项目。同时，北京清析技术研究院可对甲硅烷等进行检测。
检测方法
1、气相色谱-质谱联用(GC-MS)
这是一种常用的检测甲硅烷的方法。通过气相色谱将样品中的甲硅烷分离，然后用质谱进行定性和定量分析。GC-MS方法通常具有高灵敏度和选择性，可以检测甲硅烷的含量和纯度。
2、气相色谱-火焰光度检测法(GC-FPD)
这种方法适用于测定甲硅烷中硅的含量。样品中的甲硅烷经过气相色谱分离后，通过火焰光度检测器测定硅元素的含量。这种方法可以快速准确地测定甲硅烷中硅的含量。
3、气相色谱-气相色谱-质谱联用(GC-GC-MS)
这种方法结合了两台气相色谱和质谱仪器，可以更好地分析复杂混合物中的甲硅烷。首先通过第一台气相色谱进行分离，然后再通过第二台气相色谱和质谱联用进行进一步的定性和定量分析。
检测标准
1、KS M 1659-2008(2023 工业用甲醛溶液（甲硅烷）
2、YS/T 1300-2019氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
3、T/HEBQIA 248-2024 烷氧基三甲基硅烷
