靶材检测测试，靶材表面缺陷检测

靶材又称为溅射靶材，是指在溅射镀膜过程中被溅射的物质。溅射是一种材料沉积方法，通过加速带电粒子（离子）撞击靶材表面，将靶材表面的原子或分子“剥离”出来，将其沉积到衬底表面，形成薄膜。靶材的选择和质量对薄膜的性能有着至关重要的影响。

靶材检测项目

表面粗糙度检测、杂质检测、REACH检测、化学纯度检测、表面缺陷检测、平整度检测、XRD检测、纯度检测、晶粒度检测、密度检测、X射线检测、组织均匀性检测、疲劳试验、ICP检测、金相检测、杂质含量检测、机械性能检测等。

靶材检测标准举例

1、T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

2、YS/T 1220-2018 铬靶材

3、GB/T 20510-2017 氧化铟锡靶材

4、T/CSRE 19001-2020 金属镱靶材

5、T/NXCL 004-2021 旋转硅靶材

6、YS/T 1234-2018 铬钼合金（CrMo）靶材

7、T/NXCL 003-2021 平面硅锗靶材

8、XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

9、JC/T 2201-2022 镀膜玻璃用靶材

10、T/CHBAS 17-2022 靶材用超高纯钨板

11、T/ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材

12、YS/T 1555-2022 铂钴铬硼合金溅射靶材

13、GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

14、GB/T 39160-2020 薄膜太阳能电池用碲锌镉靶材

15、GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

靶材检测范围

锌靶Zn、铬靶Cr、镁靶Mg、铌靶Nb、锡靶Sn、铝靶Al、铟靶In、镍靶Ni、铝硅靶AlSi、钛靶Ti、铁靶Fe、锆铝靶ZrAl、钛铝靶TiAl、锆靶Zr等。

靶材检测时间周期

到样后7-10个工作日（可加急），根据样品及其检测项目/方法会有所变动，具体需咨询工程师。

靶材检测流程

1、沟通需求（在线或电话咨询）；

2、寄样（邮寄样品支持上门取样)；

3、报价（根据检测的复杂程度进行报价）；

4、签约（签订合同和保密协议）；

5、完成检测（检测周期会根据样品及其检测项目/方法会有所变动，出具检测报告，售后服务）。

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