高纯供气系统
高纯气体,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,高纯供气多少钱,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气,纯度为4个9即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色,高纯供气,无味,无毒,高纯供气价格,不燃的气体,是强氧化剂,能助燃,高纯供气生产厂家,它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触,温度超过油脂燃点时可发生自燃,在与氧气接触的地方,只能使用经过认可的材料。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求。
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电子特气管道系统氦检漏方法
特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
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