背面tco薄膜22自下而上包括位于外层的背面膜层，位于中间的背面第二膜层222以及位于内层的背面第三膜层221，各膜层的光透过率与导电性不同，背面膜层223为光透过率高膜层，由in2o3/sno2质量比为99:10的靶材制成，背面第二膜层222为光透过率与导电性能兼顾膜层，由in2o3/wo3质量比为99:1的靶材制成，背面第三膜层221为导电性能好膜层，由in2o3/sno2质量比为99:1的靶材制成。
工艺腔室33和第二工艺腔室34内的环境相同，温度为120℃，通入的工艺气体为氢气和氩气的混合气体，氢气和氩气的体积比为3:100；工艺腔压力为1pa，电池片到靶材的直线距离为50mm，链式pvd设备中传送带的传输速度为120mm/min，工艺结束后生长形成的正面tco薄膜21和背面tco薄膜22的厚度均为100nm；
作为本实施例的变换，工艺腔室33与第二工艺腔室34可以互换，即工艺腔室33靶材摆放在腔体底部，给hjt电池衬底背面镀膜，第二工艺腔室34靶材摆放在腔体上部，给hjt电池正面镀膜。
74.作为本实施例的变换，hjt太阳能电池衬底的结构也可以是由上至下设置的p型非晶硅层14、本征非晶硅层12、单晶硅衬底层11、本征非晶硅层12和n型非晶硅层13。
工艺腔室33和第二工艺腔室34内的环境相同，温度为100℃，通入的工艺气体为氢气和氩气的混合气体，氢气和氩气的体积比为5:100；工艺腔压力为3pa，电池片到靶材的直线距离为40mm，链式pvd设备中传送带的传输速度为80mm/min，工艺结束后生长形成的正面tco薄膜21和背面tco薄膜22的厚度均为120nm。
薄膜包衣预混剂由多种不同颜色的着色剂和药用辅料配制而成，外观为色泽均匀的干燥粉末，在溶媒中可均匀地分散，再通过喷雾干燥的原理包裹在片剂表面。其中二氧化钛属于常规物料，但针对该物料在药品领域的使用，国际上有不同的法规范围，如下：2006年，国际癌症机构（iarc）将二氧化钛列入2b类致癌物，随后，韩国、加拿大和日本也将其列入致癌性2类。
