电力行业绝缘介质大多采用SF6气体,但SF6气体具有强温室效应,对环境影响较大,近年来国内外热点关注SF6替代气体。开关柜中替换SF6的气体是CO2+C4F7N,可以减少SF6的温室气体排放。
二氧化碳传感器LARK-1 CO2(HC) 100VOL,四氟化碳传感器LARK-1MBCTCF4 1000PPM满足您的测量需求!
CF4是半导体行业必备的一种等离子干法刻蚀用的气体。随着中国半导体行业的加速发展,该气体的生产、储运和检测泄漏的仪表需求会越来越大。
四氟化碳(CF4),又称为四氟甲烷、Freon-14及R14,是一种卤代烃。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。
ARK-1M CF4的特点
该传感器是的特点如下:
1. 0~ 1000ppm以内,分辨率是1ppm;
2. 线性好,R^2达到0.9999;
3. 响应时间T90时间小于5sec,恢复时间RT90小于10sec;
4. 1小时内,6次重复性,1000ppm处读数误差小于3ppm;
5. 对SF6的交叉灵敏度仅为0.25%左右。