什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),定量流量计公司,不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,定量流量计价格,CVD,等离子刻蚀,山东定量流量计,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量器安装使用注意事项
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仪表连接管道的振动连接TMF的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰,在正常情况下不影响仪表的测量性能。惟插入式TMF的检测杆必须牢固地固定于管道,并避免装在有振动的场所。
脉动流的影响TMF响应时间长,不适应脉动流流量测量。若作测脉动流测量,应了解TMF的响应性,以保证能跟随的上脉动的速度变化。脉动引起的测量误差通常使仪表输出偏高,其程度取决于脉动幅值和频率。
流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard CubicCentimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter perMinute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃(27****K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
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