便携式气体流量计原理 便携式气体流量计 厚礼博北京精密仪器

流量控制器

对多数用户而言，便携式气体流量计，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（MassFlowController缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，便携式气体流量计计算，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，便携式气体流量计哪家好，重复性好。

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一定要按实际使用气体标定显示吗？

不一定。按实际实际使用气体标定显示，显示的是实际气体的流量，比较直观。但在很多的实际应用场合，只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性，至于该气体的实际质量流量是多少，用户并不是特别关心。在这种情况下，您直接使用厂家的标准出厂产品（氮气标定显示）也可以。当然，如前面所提到的，您在选定流量规格时，便携式气体流量计原理，需要换算一下，以选择合适的量程。对于某些用户，同一个产品有时可能会通不同的气体，这种情况下，直接使用氮气标定出厂的产品更方便。

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