Genesis-I型是驰奔仪器第二代钨丝枪扫描电镜之小型分析电镜。
Genesis-I型扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器。
Genesis-I型具有先进电子光学系统,接配专业级的射线能谱仪【EDS】,可获得比台式扫描电镜更快更准的微区化学成分信息;五轴优中心样品台,可灵活优化电子显微成像分析效果;Genesis-I是一款经济实用的分析型扫描电镜。
硬件特征:
全数字化控制,专业级电子显微成像分析配置;
五轴优中心样品台,可灵活优化成像及分析信号探测效果;
接配可伸缩探测器,拓展专业EDS配置,也可拓展WDS,EBSD等专业微区分析附件;
高速涡轮分子泵真空系统,可随时开关机,不影响抽速,3分钟成像;
五轴优中心样品台;
多工位样品座,手动R轴旋转更换样品,批量观测,高效较高。
拓展专业X-ray能谱仪,探测器具有进退机制,用时获得工作条件,
不用则退出,避免干涉其他工作条件设置
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging); 大图拼接:连续视野照片缝合;信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
※鼠标键盘操作,简易快捷。
在展会现场操作演示
占地空间小,无需专业安装条件
性能指标
型号
Genesis-500 分析型扫描电镜
样品台
五轴优中心,全手动
X: 40mm
Y: 40mm
Z: 5-45mm
R: 360°无限
T: -20°~90°
电子枪
预对中钨灯丝 三极自动偏压
加速电压
200V-30KV (Zui大发射电流190μA @ 30KV/Zui大电子枪功率:5.7W)
探测器
ET-SED
物镜光阑
20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑
分辨率
4nm @30KV ( SEI)
放大倍数
10-300,000 X
样品室
内径φ150mm,Se、Bse、EDS等探测器接口
Zui大样品尺寸
Φ96mm X 50mm
工作距离
0-45mm
扫描光栅运动
电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°
扫描模式
聚焦模式:320X240 像素 ,用户可自定义可移动;
TV模式:800x 600像素 ;
慢扫描模式,用于TV及聚焦模式;
照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200,Zui大3200x2400像素;
动态聚焦,倾斜补偿
图像格式
JPG、TIFF、bmp、PNG
真空模式
高真空优于9x10-3Pa
真空系统
全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)
-涡轮分子泵
-旋片式机械真空泵
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等
自动功能
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相,自动大图拼接缝合。
软件系统
基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。
主机尺寸/重量
600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg
电源
单相交流 220V 、50Hz、1KW
耗材附件
预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具
可选配置
四象限BSED | 3D重构成像软件 | EDS能谱仪|