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稀土化合物:氧化铒 Er2O3 4N 颗粒、粉末;陶瓷靶材:一氧化硅 SiO 4N 靶材;稀土金属:钆 Gd 3N-4N颗粒、块状、靶材;金属蒸发颗粒:高纯钨 W 4N 颗粒、丝
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