怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter perMinute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，气体流量积算仪报价，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，气体流量积算仪，可以方便地查到，气体流量积算仪哪家好，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是，气体流量积算仪公司，被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min），但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
流量积算仪额特点
~ 适用流量计和流体介质范围广泛。
~ 流量单位自动换算，差压式流量计的流量系数自动运算。
~ 蒸汽密度依据 IAPWS-IF97公式计算，自动识别蒸汽的过热、饱和状态。
~ 应急容错功能：温度、压力信号异常时，使用应急参数值进行补偿运算。
~调试演算功能：支持查看各变送器/传感器信号原始值；支持查看流量计算中的中间参数如密度等。
~ 审计记录：停电记录功能。
~报警列表：支持记录流量、温度、压力、差压/频率/体积/质量等瞬时量或累积量报警信息。
~ 累积报表：支持累积流量班报表、日报表、月报表、年报表。
~ 通讯功能：标准 Modbus RTU 协议，支持 RS485、RS232C通讯接口。
~ 变送功能：支持标准电流变送输出，信号来源通道可选。
~ 报表备份功能：支持各累积报表备份功能。
~ 导入导出功能：支持仪表组态参数导入导出功能。
~ 定时打印功能：支持流量、温度、压力、累积等数据进行定时打印功能。
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优势
全中文液晶型显示，方便用户现场调试与维护
可提供累积流量、瞬时流量、温度、压力等的上下限报警功能
可提供累积脉冲输出功能 多种补偿方式供用户选择
面板显示灯提示错误代码，丰富的自诊断功能使仪表更容易使用与维护。
简单的容错功能：温度、压力/密度补偿测量信号异常时，用对应的手动设定值进行补偿运算
仪表内部不设任何电位器、编码开关等可调器件，从而提高仪表的耐振性、稳定性和可靠性。
能与上位计算机进行数据通讯，组成能源计量网络系统
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